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半導体製造装置のメンテナンス工数の削減

公開日：2013年5月13日 半導体電気設計者のつぶやき集

半導体製造装置内や制御盤内の作業灯は、白熱球や蛍光灯がメインでした。白熱球や蛍光灯はスイッチのON・OFF回数によって、寿命が短くなります。寿命が短くなると、交換作業の回数が増え、メンテナンス工数の増加に繋がります。 L …