用語解説

半導体製造装置とは半導体を製造するための装置のことをいいます。
半導体製造装置にはいろいろな種類があります。
複雑で細かい電子回路パターンを半導体の板にレンズで焼き付ける露光装置。
半導体の材料となる高密度のシリコンウェハーが作られるウェハー製造装置。
薄膜をプラズマガスによって除去するドライエッチング装置。
品質を検査するための検査装置。
他にも組み立て装置やドライ洗浄装置などがあります。
このように工程ごとに違う種類の装置を用いることで、半導体が作り出されます。