半導体製造装置 制御盤の静電気対策

半導体製造装置制御盤には、様々な制御基板が搭載されます。この基板の不具合・トラブルの原因の1つに静電気があります。帯電による埃の吸着、静電気放電による素子の破壊、帯電した素子が別の素子に触れた際に起こる二次破壊等は、人間の感じる3分の1程度の電圧で起こり、原因究明が困難で時間を要するため、大きな問題に発展する可能性があります。
問題回避のためには、接地を徹底し絶縁物を排除する環境対策、基板を取り扱う人間(導体)にも設置対策と帯電防止対策を行い管理する必要があります。トラブルの元静電気放電は、多くの場合が人体を元凶として起こります。

【対策として次の5点を行う必要が有効です】
① 帯電防止服の着用 ⇒ 静電気の発生を予防する
② 帯電防止靴(導電靴)の着用 ⇒ 人体を常に接地し帯電防止
③ リストストラップの使用 ⇒ 人体を常にゼロ電位に保つ
④ アース(接地) ⇒ リストストラップを安全に接地
⑤ 絶縁物を置かない ⇒ 静電気の発生源を断つ