Before (改善前)

通常の組立、配線作業で使用する作業台は作業効率を考えた配置、高さで、ゴムやビニール系のシートで絶縁し、帯電防止スプレーで防塵対策を行います。

【メリット】
・増設・移動に優れている。
・一次的な静電気発生予防効果が得られる。
【デメリット】
・ゼロ電位は保てない。

一般的な電気部品には、静電気対策の必要はありませんが、半導体製造装置制御盤の製作には、クリーン度を保つための防塵対策として帯電防止スプレーを用いた方法を主に利用します。
※ 仕様により使えない場合もあるので確認が必要です。

V

After (改善後)

精密機器の取扱には静電気対策として作業台を設置し静電気が起こらない環境対策が必要です。導電マットでゼロ電位を保ちます。

【メリット】
・静電気発生防止。
・防塵予防効果。
【デメリット】
・接地工事が必要。
・移動しにくい。

半導体製造装置制御盤に搭載される制御機器のトラブル原因として静電気問題があります。静電気を起こさない対策として、帯電防止服、導電靴の着用、リストストラップで人的要因を排除すると共に作業場所、環境対策として導電マットの使用、接地の徹底などの対策があります。制御盤製作時に静電気対策に努める事で、重大エラーのトラブルを予防します。

POINT(要約)

作業台を帯電させない、帯電しやすい物を作業台の上に置かないなどの意識や、帯電しやすい物を使用しない事と併せて導電マットを使用する事で静電気対策になります。静電気による部品破壊、寿命の低下等を防ぎ、高品質で耐久性の高い制御盤を製作する事が出来ます。
こうした工夫が半導体製造装置や高性能工作機械などの制御盤の求められます。